應用范圍:
主要應用于光學平面、球面及非球面零件的超精密加工,包括光學零件模具、微機電系統(MEMS)技術零件、菲涅爾鏡片模具、激光反射鏡、太陽能鏡片等。
性能特點:
■ 運動控制的精度高??梢钥刂萍{米分辨率移動的部件,實現納米插補。
■ 加工應用范圍較寬。通過車削和銑削加工,可以實現多種不同類型工件的高精度加工,工件的回轉范圍也比較大。
■ 機床結構與工藝結合緊密。該機床在結構設計中充分考慮機床加工的工藝性,充分考慮應用。
■ 機床可實現加工、檢測一體化功能。
結構特點:
■ 機床溜板采用直線電機對稱雙驅動結構,具有納米級運動分辨率。
■ 機床回轉工作臺采用空氣靜壓軸承、高分辨率直接驅動結構。
■ 機床主軸采用高精度空氣靜壓軸承、整體電主軸結構,帶有Cs軸功能。